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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，手套箱生产厂家，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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艾明坷手套箱优点
1.密闭循环
手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧
2.自动控制再生
除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制
3.自动清洗
手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成
4.箱体压力控制
手套箱内压力通过PLC自动控制， 工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护
5.真空泵自动控制
真空泵要求在系统需要时自动开启
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亚克力手套箱产品概述
手套箱主要解决在日常的实验室中会遇到物料的储存，防尘，防水，隔氧等一系列隔离要求，将手套箱内的环境置换成惰性气体稳定环境便可解决此类实验的需求.
工作方式: 亚克力手套箱将箱体内的空气置换或者抽出，并通入高纯惰性气体，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。
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